第八节 空气净化的标准
按每升空气中含≥0.5μm和≥5.0μm粒子的最大允许数为标准,洁净室的净化程度分为以下几个级别:100级、1万级、10万级、30万级。
洁净室空气质量除洁净度(微粒数)要求外,还有温度(18~26℃)、相对湿度(40%~60%)、压力(保持正压)的要求。这四个要求是洁净室设计的标准。
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