中国科学院微电子研究所(以下简称“微电子所”)的前身——原中国科学院109厂成立于1958年。1986年，109厂与中国科学院半导体研究所、计算技术研究所有关研制大规模集成电路部分合并为中国科学院微电子中心。2003年9月，正式更名为中国科学院微电子研究所。
微电子所的战略定位是：中国微电子技术创新的引领者和产业发展的推动者。
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